삼성, EUV용 포토레지스트(PR) 다변화…美 인프리아 PR 적용 추진

삼성, EUV용 포토레지스트(PR) 다변화…美 인프리아 PR 적용 추진



삼성전자가 극자외선(EUV) 노광 공정 핵심 재료인 포토레지스트(PR) 수급을 다변화한다. 삼성은 미국 반도체 소재 업체인 인프리아의 EUV용 PR를 조만간 적용할 계획이다. 인프리아는 무기물 기반 EUV PR를 만드는…


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