삼성, EUV 공정 필수품 ‘펠리클’ 직접 개발
삼성전자가 극자외선(EUV) 공정 필수품으로 꼽히는 펠리클을 자체 개발한다. 초미세 반도체 제조에 사용되는 EUV 공정 경쟁력을 강화하기 위한 전략이다. ASML, 미쓰이화학, 에스앤에스텍, 에프에스티 등이 참여…
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